超净无尘净化车间目前用于工业半导体、精密零件制造、LED液晶平面生产、光学镜片制造、精密电子线路板、SMT无尘车间、PCB净化车间、光伏新能源电池生产、塑料化工生产、电镀/喷涂车间是不可缺少的重要硬件设施。近十年来，由于技术创新和发展日益迅速，社会和行业对产品十分重视。对精密化、小型化的需求越来越迫切。例如，大型集成电路的小型化及其配件的小型化、新能源的发展、新能源电池组生产的轻量化、小型化等研究已成为世界各国高度重视的科学科研项目。技术、电子行业的需求也一直要求微电子超净无尘车间的设计理念和施工技术日新月异地发展。

1、光学微电子超洁净无尘车间布局要求

1、净化车间洁净生产区：洁净度等级设置为100级、1000级或10000级。

2、无尘生产辅助用房：洁净度等级设置为万级、十万级，一般包括洁净室进出的人流、洁净区进出的物料以及部分车间办公、生活等地区。

3、超净净化车间管理区：洁净度等级设置为10万级或30万级，一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。

4、车间生产专用设备区：该区域对空气净化级别无要求，但要求与净化车间进行有效的物理或空气隔离。该区域主要包括净化空调机房、电气房、纯水房、生产用气房等。 。

2、光学微电子超洁净无尘车间装修要求

1、车间吊顶材质：采用FFU盲板或防火彩钢板。人们必须能够进入天花板，并且必须对承重部分进行详细的技术支持。

2、车间墙面装饰材料：采用防火彩钢板。彩钢板厚度为50mm，可在现场区域尽可能有效地利用。彩钢板在安装时需要接地，以达到释放静电的功能。

3、车间地面装饰：一般采用环氧自流平或PVC卷材，但以上两种材料必须在无尘车间内进行防静电处理。

3、超净无尘净化车间空调设计方案

一、超净无尘净化车间的净化原理

解决了普通装修容易产生灰尘的问题后，洁净室最重要的空间净化措施就是洁净空调系统。净化空调机组利用风机先过滤室内外的部分新风，然后进行中效过滤。 ，这两级过滤都是在组合式净化空调机组中完成，然后用高静压风机抽入管道，管道末端连接到房间内同样安装的专用送风箱供气箱。送风箱内装有高效过滤板。经过高效过滤器后的空气进入房间，按照净化车间空调系统工程师规划的流路带走房间内的微小灰尘。根据不同所需的净化程度，上述过程需要重复不同的次数。这个问题的具体参数将在下一节中给出。

2、超净无尘净化车间循环参数

①无尘车间内按等级说明室内换气次数：10万级洁净室每小时换气次数不应少于15次；万级洁净室每小时换气次数不应少于20次； 1000级洁净室每小时换气次数不少于50次； 100级洁净室和10级洁净棚不是以换气次数为标准无尘车间装修材料，而是通过整个吊顶送风，通过整个地板回风，即送风所占面积的比例增加回风口，计算净化组合空调机组的送风量。通过控制送风速度在0.3-0.5m/s反算风量。

②超净无尘净化车间温湿度控制范围：冬季>16℃，夏季<26℃，波动范围±2℃；湿度在45-65%之间，具体取决于产品的特性。确定正常波动范围为±5%。湿度对不同定量值的室内静电也有特殊影响，因此净化车间内的湿度必须综合考虑；

③噪声控制：超净无尘净化车间的噪声主要以工作人员的舒适度为主。国家噪声标准规定工作环境噪声应控制在≤65dB。

④新风：为了室内控制人员的舒适，净化车间内必须按照暖通空调通风标准适当补充新风。新风量根据人员数量计算，按50m3/h计算。

4、光学洁净室设计中空调材料的洁净度要求

1、空调系统送风管道采用镀锌钢板制成。考虑到风压较高，建议使用中压法兰风管。外部采用橡胶和塑料作为绝缘材料。橡胶和塑料必须具有阻燃性，以确保防火。安全。

2、高效送风口可采用冷轧板制作。目前，市场上有不锈钢材质的高效送风口。但根据永科的施工经验，不锈钢高效送风口强度较差，在高风压下容易变形。而且不锈钢高效送风口的诞生主要应用于食品企业的SC生产净化车间。此类车间对细菌数量要求严格，但净化级别较低，只有10级净化。送风量要求比较小，风压也较低。较小，与光学微电子超净无尘车间的需求不同，因此不建议使用超净无尘净化车间的空调系统。 3、回风口必须采用可开启、可调节的出风口，不得采用固定百叶窗回风口。超净无尘净化车间的回风口必须安装中效过滤器。同时，洁净厂房的日常使用和维护中也需要定期清洁。可打开的进风口，方便更换中效过滤器和卫生清洁；可调进风口的作用主要是调节超洁净无尘区与普通洁净区之间的气流组织。通过调节回风口上的百叶窗，可以调节室内外压差。 。

五、光学微电子超净无尘洁净车间净化工程设计及建设方案概要

净化工程师或空气净化工程供应商在此类项目的设计和施工过程中无尘车间装修材料，必须加强对光学微电子行业产品特性的充分了解和熟悉。电子产品制造商的产品开发部门需要更多的相关技术人员。结合光学微电子厂商的具体生产需求，沟通确定该项目是新车间还是老车间技术升级。通过生产工艺和技术要求来确定所需的工艺方案、温度、湿度、洁净度等，同时还考虑生产企业的生产能力规划和建设经济规划安排，综合考虑所有因素后才确定采用何种空气净化方式使用。只有实现处理方案各方面的平衡，才能建设出满足生产企业生产经营要求的超洁净无尘净化车间。