净化车间也可称为净化车间或洁净室。它是污染控制的基础。没有净化车间，污染敏感部件的批量生产是不可能的。那么净化车间有哪些部分组成呢？

1、净化车间由五部分组成：

1. 隔间

净化车间隔间分为更衣室、千级区、百级区三部分。更衣室及千级区设有风淋室（ ），净化车间及室外区设有风淋室（ ）。进出通行箱（）。人们进入净化车间时，必须先经过风淋室，吹掉人体携带的粉尘，减少人员带入净化车间的粉尘。传递窗的作用是吹掉物品上的灰尘。达到除尘的效果。

2. 风力系统 风力系统流程图

系统采用新型空调箱+FFU系统：

全新空调箱体结构

FFU：（）表示风机和过滤器

千级区过滤器采用HEPA，过滤效率99.997%，百级区过滤器采用ULPA，过滤效率99.9995%。

3、水系统水系统流程图

冰水系统分为一次侧和二次侧。

一次侧冰水温度为7-12度，供给空调箱和风机盘管。二次侧冰水温度为12-17度，供给干式盘管系统。一次侧冰水和二次侧冰水是两个不同的回路。通过板式换热器连接。

板式换热器原理

干式盘管：非冷凝盘管。由于净化车间的温度为22度，其露点温度为12度左右，7度的冰水无法直接进入净化车间，因此进入干盘管的冰水温度在12-14度之间。

4、控制系统（DDC）温度：干式盘管系统控制

湿度：空调箱通过感应信号控制三通阀的开度来调节空调箱盘管的进水量。

正压：空调箱调节，根据静压传感的信号，自动调节空调箱电机变频器的频率，从而调节进入房间的新风量。

5.其他系统

不仅仅是空调系统，净化车间系统还包括真空、气压、氮气、纯水、废水、二氧化碳系统、工艺排风系统，以及检测标准：

1、检测气流速度和均匀度。此检测是净化车间效果其他检测的前提。本次检测的目的是明确单向流净化车间工作区域的平均风量及均匀度。

2.系统或房间风量检测。

3、检查室内清洁度。洁净度的检测是为了确定洁净环境下能够达到的空气洁净度水平，可以使用粒子计数器来检测。

4、自净时间的检测。通过确定自清洁时间，可以确定洁净室内部发生污染时恢复原来清洁度的能力。

5.气流模式检测。

6.噪声检测。

7. 光照度检测。照度测试的目的是确定洁净室的照度水平和照度均匀度。

8.振动检测。振动检测的目的是确定净化车间内各显示器的振动幅度。

9、温湿度检测。温湿度检测的目的是能够在一定范围内调节温度和湿度。其内容包括检测净化车间送风温度、检测代表性测点空气温度、检测净化车间中心点空气温度、检测敏感部件空气温度、检测室内空气相对温度，并检测回风温度。

10、总风量、新风量检测。

2、净化车间净化工程的工作流程是怎样的？

无尘净化工程对车间有明确的要求。为了满足需要，保证产品质量，必须对车间的环境、人员、设备和生产过程进行控制。车间管理包括车间人员、材料、设备、管道的管理。车间工作人员工作服的制作及车间的保洁。室内设备和装修材料的选择、清洁和消毒，防止车间内尘埃颗粒和微生物的产生。设备设施的维护和管理，制定相应的操作规范，确保设备按要求运行，包括净化空调系统、水、气、电系统等，保证生产工艺要求和空气洁净度水平。对车间内设施进行清洁、消毒，防止微生物在车间内滞留和繁殖。为了更好地开展无尘净化工程，必须从无尘车间做起。

无尘净化工程主要工作流程：

1、规划：了解客户需求，确定合理方案；

2、初步设计：根据客户情况设计方案；

3、方案沟通：与客户就初步设计方案进行沟通并做出调整；

4、商务谈判：按照确定的方案协商工程造价并签订合同；

5、施工图设计：确定初步设计方案为施工图设计；

6、工程：按照施工图纸进行施工；

7、调试和测试：按照验收规范和合同要求进行调试和测试；

8、竣工验收：进行竣工验收并交付客户使用；

9、维修服务：保修期后承担责任并提供服务。

3.什么是洁净室：

用通俗的语言来形容，净化车间的目的就是将一定空间的空气中的粉尘、颗粒物控制在一定值以下，并将压力、温度、湿度、气流分布、形状、速度控制在一定范围内。建起来的房子。

什么是洁净度（Class）：是指单位体积（通常为立方英尺）空气中直径大于或等于0.5μm的尘埃颗粒的数量，又称无尘度。

什么是粉尘颗粒：

灰尘颗粒是微小的灰尘和悬浮物。

灰尘颗粒越小，其表面积所占的比例相对增大。它们不根据牛顿定律移动，而是根据重力下落。相反，它们在空中进行不规则的运动。这种运动称为布朗运动。

由于它是悬浮物并且移动不规则，因此它是清洁技术和产品制造中令人头痛的代表性来源。

总之，粉尘颗粒将对产品良率产生至关重要的影响。例如：电腐蚀。

净化车间原理：

空气通过空调系统和净化装置进行加湿、调节和过滤，净化后的空气通过净化车间内的高效过滤器送入净化车间，达到洁净级别标准。

通常：温度：22℃±3℃；湿度：55%±5%。包括：

1、空调系统；

2.2.空气净化系统。

净化车间类型：

根据洁净度和气流状况的结合，可分为三种方法：

1、混沌净化车间；

2、卧式并流净化车间；

3、立式顺流净化车间

净化车间类型：

空气通过净化车间屋顶的高效过滤器出风口供给室内。空气通过墙上的排气口返回，主要是玻璃纤维。

采用固体材料制成的高效过滤器。

净化车间原理：

1、防止粉尘带入净化车间；

(1) 空气：

(1).通过过滤器净化空气：

常用过滤器：玻璃纤维和玻璃石棉等。 玻璃纤维：可过滤0.3m悬浮尘粒。

即使悬浮粉尘颗粒达0.04 m；过滤效果：99.99%

玻璃石棉：根据石棉直径确定；

示例：1m 的石棉可过滤 1m 的灰尘颗粒。

2、进入净化车间必须穿着无尘服。

不允许使用易产生粉尘的材料、设备、用品等。使用净化车间用品（无尘纸、无尘笔记本、圆珠笔等），减少不必要的人员活动和设备操作。制定设备放置的结构设计计划。 。禁止携带不必要的物品进入净化车间。净化车间内禁止脱无尘衣。净化车间内的物品数量被限制在最低限度。对于减少空气湍流的物品放置有规定。

四、净化车间吸尘器的集尘原理及基本结构

吸尘器的清洁原理是利用吸力，从地板、地毯、墙壁、家具等难以清除污垢的表面，吸走灰尘和吸干赃物，如线头、纸屑、头发等。一把扫帚。其主要部件有真空泵、滤袋、软管、延长管和各种形状的不同喷嘴。现代配件种类繁多，包括用于清洁地毯污垢的粗刷、细刷和旋转刷，用于清洁角落的扁平喷嘴，以及用于清洁测地板的抛光刷。

第一层过滤器/纸袋（一次性）：（15L）可有效收集和处理可见灰尘。

第二层过滤/加大布过滤器（可清洗）：保护并延长HEPA过滤器的使用寿命。

第三层过滤器/电机保护罩：深层过滤，可保护电机使用寿命。

第四层过滤/HEPA或ULPA过滤器：

HEPA能有效过滤0.3um粉尘高达99.99%，适合更精细的过滤。 HEPA 全部经过激光尘埃粒子计数器测试。 ULPA可有效过滤99.999%的0.12um（相当于人头发直径的1/960）d级粉尘。适用于-10级无尘净化环境，是国家航天局指定的专用吸尘器。

相信懂得净化车间吸尘器的人应该都很熟悉。这样的过滤系统用于百级、千级净化车间不成问题。

5、净化车间与普通房间在结构上有什么区别？

通常净化车间的气流设计流程是单向气流。净化车间生产设备的设计和放置要充分考虑气流方向不被阻挡：既然是洁净室，顾名思义就是控制污染源，提高产品洁净度。设计高洁净度生产车间。造成污染的因素有很多，而人的因素是最大的污染源，所以对人的行为的控制会相对严格。当然，其他因素也不能忽视。总而言之，它只是一个比普通环境更清洁的工作车间，不会对人体造成任何威胁。要保证洁净室的环境必须在各个方面得到控制，仅靠硬件工作是不够的。外部污染源也是我们正在净化的。车间环境污染治理是重中之重！通过以上的介绍，希望大家能够对净化车间有一个正确的认识。工业生产在这样的环境下是必然的发展趋势。

6、了解净化车间照明的基本原理

洁净室的照明原则是提供可视性。正确的照明水平与送风系统相协调并减少污染是洁净室设计结构的一个组成部分。洁净室中的照明会根据房间的用途、等级分类和天花板上的送风结构而有所不同。照明系统必须提供良好的可视性，并在电磁场和清洁度的设计中考虑污染控制。

对于净化车间的结构来说，照明灯具的成本不会超过总预算的1%，而照明的能源成本与净化中暖通空调和工艺设备的电力需求相比可以说是很小的。车间。因此，净化车间的成本照明重点变成了适当的照度水平，与送风系统相协调，同时减少对空间内安装的特定环境和工艺的污染。许多净化车间的表面反光度很高，大部分天花板、墙壁、地板都闪闪发亮。尽管如此，材料颜色的选择仍在审查中，以改善用户的环境。在净化车间的设计结构中，照明系统普遍采用荧光灯无尘车间装修材料，因为其能效高、使用寿命长、维护成本低。

经常使用。荧光灯在紫外光谱中产生一定量的能量，这对净化车间的某些工艺有害。您可以使用灯罩来过滤紫外线，但这种屏蔽会将可见光转换为黄色，尽管这种屏蔽只能减少 10% 到 20%。照度，但由于颜色的偏差，感知到的照度显得较低。照明灯中需要有镇流器来产生灯泡所需的启动电压和工作电流。镇流器中使用的技术是电磁技术和电子技术。

当某个空间需要过滤器和照明时，嵌入式照明灯具可以与高效空气过滤器结合使用。该装置常用于小型、装配式净化车间。该装置是凹进式的，具有开放式顶部和替换灯罩，由巧克力百叶窗制成，可同时用作照明灯具和空气输送模块。为了防止天花板照明与空气过滤器空间要求发生冲突，并作为泪珠灯具的替代品，制造业开发了模块化天花板系统，在格子通道中内置了集成照明。这些系统允许分层气流不受影响。污染控制是净化车间设计结构的主要目标。进入净化车间的潜在污染源必须严格清除并控制在一定范围内，照明灯具必须进行污染评估和检测。

七、净化车间的级别及意义

净化车间是为控制空间空气中颗粒物而建造的特殊封闭建筑。一般来说，净化车间还会控制温度和湿度、气流运动模式、振动和噪声等环境因素。净化车间有不同的级别，对一定空间内的最大允许粉尘颗粒量有一定的规范。它们分为ISO-14644和国际标准中的ISO-14644级别定义。这里所说的颗粒尘是指肉眼看不到的灰尘和颗粒物，是普通空气净化器无法完全去除的灰尘。净化车间一般分为电子和精密工业（ICR）；以及需要控制微生物浓度的制药和食品行业。

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在JIS标准中，净化车间的洁净度分为8级。一般洁净度是指空气的洁净度等级，分为1至8级。 1立方米空气中，若粒径为0.1微米的尘粒少于10个，则为1；如果灰尘颗粒少于100个，则100=102，为2级；如果粒子数少于1000个，则1000=103，即3级，以此类推。进入21世纪，尖端技术产业的发展加速了产业结构的转变，设立净化车间的必要性也相应增加。产品逐渐变得更小、更精密。灰尘和温湿度的变化也对产品的完成造成很大的危害，导致质量下降。随着产品质量要求的提高，对无尘环境的要求也越来越高。 。因此，净化车间使用防尘材料及产品非常重要。净化车间是一个人工环境，里面所含的颗粒物比一般环境低很多。随着集成电路水平的快速增长，对制造环境（净化车间）的洁净度要求也随之提高。在工业上，即使颗粒的尺寸也应小于0.1微米。它还可能阻碍产品的生产或缩短其寿命。先进纳米技术的兴起，使得半导体的临界尺寸不断缩小，集成电路的集中度不断提高。灰尘颗粒更容易导致芯片故障或降低可靠性。例如，当金属粉尘颗粒落到金属线上时，可能会导致金属线短路。因此，净化车间是集成电路制造必不可少的因素。

8. 无车房使用分类

⑴.工业净化车间

——针对无生命粒子的控制。主要控制空气尘粒对工作物体的污染，内部一般保持正压状态。适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）航空航天工业、高纯化工工业、原子能工业、光磁制品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶）玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等众多行业。

⑵.生物净化车间

主要控制活颗粒（细菌）和无生命颗粒（灰尘）对工作物体的污染。还可以分为；

A、一般生物净化车间主要控制微生物（细菌）物体的污染。同时，其内部材料必须能够承受各种灭菌剂的侵蚀，内部一般保证正压。本质上，它是一个工业净化车间，其内部材料必须能够承受各种灭菌处理。例如：制药行业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化实验室、血站等。

B、生物安全净化车间：主要控制工作对象的活颗粒物对外界和人的污染。内部应与大气保持负压。例如：细菌学、生物学、洁净实验室、物理工程（重组基因、疫苗制备）。

9、净化车间和洁净室是一样的吗？

洁净室，又称净化车间或洁净室。它是污染控制的基础。没有净化车间，污染敏感部件的批量生产是不可能的。在FED-STD-2中，洁净室被定义为具有空气过滤、分配、优化、建筑材料和设备以及特定的常规操作程序以控制空气中颗粒物浓度以达到适当的颗粒物洁净度水平的房间。 。净化车间是指消除一定空间内空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，并对室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声、振动、照明等进行净化。 、静电控制在一定的需求范围内提供专门设计的房间。洁净室：温度、湿度、压力（压差）、洁净度、浮游菌、沉降菌受到控制的空间。两者没有本质区别，只是适用的标准和级别不同。

十、干式盘管在净化车间系统中的作用及原理

风机盘管是空调系统中的终端设备。主要用于局部换热。冬季供暖时不分干湿，夏季制冷时只分干湿。

所谓干式盘管，是指盘管的热交换只有显热交换，没有潜热交换。这可用于室内没有湿源且对空气相对湿度要求不高的地方，因为空气含水量一定时温度会下降。会增加空气的相对湿度。线圈本身没有干湿之分。干式盘管是通过控制冷冻水供应的温度来实现的。即使供水温度高于室内空气的露点温度，室内空气中含有的水蒸气也不会凝结成水。由于干式盘管只交换显热，不交换潜热，因此相同温降所需的热交换量比湿式盘管少。

11、无尘喷漆房工作原理

顾名思义，过滤后的油漆对象在一个房间内喷涂，现在也称为喷漆室。

传统喷漆是在露天用喷嘴将油漆喷在器具（汽车、家具等）上。但这种方法会降低大型电器喷漆的质量。例如，在喷漆过程中，空气中的灰尘会混入油漆中，从而降低油漆的质量。油漆质量；

油漆浪费存在不确定性，喷漆区域会很脏；对于工作人员来说，一方面会很脏，另一方面会吸入大量的漆雾，对身体有害。后来人们想把喷漆设定在一定的范围内，于是就产生了最早的喷漆房——排气式喷漆房。在国内，喷漆房最早于20世纪90年代在成都地区生产。

排气喷漆房的三个关键是：

1、通风——喷漆房排气工作的关键

2、过滤——过滤空气中的小颗粒

3、排气——废气的排出和新空气的进入

具体原则是：

风（室外空气）----喷漆房内的过滤棉----喷漆房----用喷漆设备喷漆防飞溅----排风机（排出产生的漆雾）

这种喷漆房的缺点仍然存在：

1、滤布易划伤，灰尘易进入。

2、室外不洁净空气容易进入

3.不环保，浪费油漆

4、需要经常清洗，定期清除滤布上的污垢。

12、净化车间排烟原理及设计方法

近年来，我国新竹科学工业园区发生多起半导体工厂火灾事故。虽然造成的人员伤亡不大，但财产损失却相当可观，金额很容易达到数十亿甚至数百亿。以台币计算，对产业造成的损害和危害可想而知。高温和浓烟是造成经济损失的罪魁祸首。但由于土地不易获得，净化车间大多开发至高楼层。高智能的技术人力和昂贵的设备机器都集中在工厂里。一旦发生火灾事故，损失将是巨大的。是普通工厂的几十倍。另外，高科技净化车间内使用了许多易爆易燃气体，如SiH4、H2、PH3等，如果没有适当的对策和措施，增加了工厂内的潜在危险。因此，为了减少火灾时的人员伤亡和财产损失，建筑内必须实施烟流控制。这在新加坡是强制性的。在邻近的日本、中国大陆或香港，也有类似的烟雾控制法规，其目的是减少火灾发生时高温烟雾对员工生命的危害和设备污染。我国现有的防烟排风模式分析目前我国净化车间现有的防排烟模式有四种。其中，防烟设计原则是在净化车间下部回风区采用一般排风管道，并在其上安装闸门。正常情况下，闸门关闭，以维持一般排气的运行。如果净化车间内出现紧急情况或净化车间下层回风区发生火灾时，将打开大门排烟。该设计必须基于两个假设才能有效。第一个假设是：如果火灾发生在净化车间，则净化车间上方的FFU向下的垂直层流速度一定大于火灾烟气的上升速度。将净化车间火灾产生的烟尘抑制，引导至下部回风区，再通过排风管道的敞开闸门抽出。

第二个假设是，如果火灾发生在下回风区，上升的烟气将积聚在下回风区的上部，使烟气被打开的排烟道闸门抽走。但上述两个假设在现实中很难成立，因为从净化车间顶棚吹出的垂直层流速度约为0.25-0.5 m/s，而只要火灾的放热速率大于3kW时，烟气向上的速度将大于0.5m/s无尘车间装修材料，然后烟气在上方堆积，形成储烟层。这时，从净化车间天花板吹来的气流，只会使烟雾扩散得更快，造成更大的危害。另外，如果烟雾温度过高，HEAP或ULPA等过滤层可能被烧穿，使烟雾危害更加严重，因此第一个假设不能成立。其次，还有烟雾堆积的问题。由于高架地板设有穿孔板，下层回风区火灾产生的烟尘会穿过穿孔板向上进入净化车间，而无法积聚在高架地板下方，使得排烟 该点的有效排烟范围仅限于排烟门附近，因此只能抽出少量的烟雾，因此第二个假设很难成立。一般来说，这种设计模式常见于老工厂的净化车间。这主要是因为过去半导体工厂在建立时很少考虑排烟系统。后来由于需要，他们只好将其安装在普通排气管道上。控制门安装后，该孔用于排烟，对原有设备和厂房系统影响最小。使用一般排烟管道作为排烟系统时还需要考虑一些问题，比如管道能否承受高温？排烟量是否足够？风扇是排烟风扇吗？大门是防烟门吗？根据 UL 555S 其泄漏等级是多少？如何控制系统及其可靠性问题？因此，建议使用专用排烟系统，可以显着解决上述许多问题。

有效的防烟设计方法

主要概念是通过净化车间上方的开口排出烟雾。开口处采用UL 555S认证的排烟风门，可承受排烟时的高温烟尘。如果要考虑防火分区问题，可以采用防火、排烟阀代替。纯化研讨会必须首先使用现有分区或添加其他防烟垂直墙来分割净化车间区域。当在特定区域发生大火时，区域中的空调被关闭，烟气排气门在区域中打开，烟气排气风扇开始耗尽烟雾。但是，非开火区域中的空调仍然存在，这使烟气排气区形成负压区而不是火区是形成正压区的，这种正压力设计有助于防止大型散布在一定程度上，烟雾颗粒是一个封闭空间，必须保持压力平衡，否则由于阻力，烟气排气系统的排气力将变得越来越大。而且性能变得越来越糟。返回空气轴必须使用防烟式空气门，以切断返回空气系统，以防止被污染的空气通过返回空气系统再循环到其他区域。目前，位于净化车间上方的室外空气MA补充系统仍然提供新鲜空气，以维护空调系统仍在的区域可以继续提供空气。烟气排气门的打开和烟气排气风扇的开始可以手动或烟雾探测器连接。烟雾探测器可以是可寻址的离子烟雾探测器或早期烟雾探测器VESDA。在旧的纯化车间建筑物中，大多数返回空气导管都使用轴向流风扇，并与ULPA或ULPA返回空气形式匹配。这种类型的工厂建筑物不太有利于使用预防烟区关闭返回空气系统并形成正压力预防模式，这意味着如果发生火灾，唯一的选择是完全关闭风扇返回空气系统或继续将其打开。但是，在新的纯化研讨会中，经常使用FFU返回空气方法。这样，如果提前设计了FFU电路分区开关，则可以有效地使用烟雾预防区域来划分烟雾预防区域以关闭FFU，从而形成所谓的正压和负压力区预防烟雾。 。

参考：“清洁室的建设和验收规格”

“无尘研讨会工程构建的关键过程的详细说明”

“最完整的无尘车间标准要求”

“揭示的无尘研讨会的建设计划”

“无尘车间工程装饰指南”

“纯化工程安装要求，特征和监视”

“纯化工程建筑百科全书（最新版）”

“净化工程的全面安装标准”

“纯化工程装饰指南”